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标准详细信息

YS/T 936-2013　集成电路器件用镍钒合金靶材现行

中国标准分类号：H62

国际标准分类号：77.150.40

英文名称：Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device
适用范围：

本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。

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基本信息

发布机构：
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
全文语种：
全文页数：16

相关单位

提出单位：
起草人：董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜。
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司;北京有色金属研究总院;宁波江丰电子材料股份有限公司;中国有色金属工业标准计量质量研究所
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

附录

关联公告

指标项

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