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标准详细信息

YS/T 893-2013　电子薄膜用高纯钛溅射靶材现行

中国标准分类号：H64

国际标准分类号：77.150.50

英文名称：High-purity sputtering titanium target used in electronic film
适用范围：

本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同（订单）等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。

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基本信息

发布机构：
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
全文语种：
全文页数：9

相关单位

提出单位：
起草人：何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵梦、王学泽、熊晓东。
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司;宁波江丰电子材料有限公司
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

附录

关联公告

指标项