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YS/T 936-2013　集成电路器件用镍钒合金靶材 现行
中国标准分类号：H62
国际标准分类号：77.150.40
英文名称：
适用范围：

本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。

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基本信息
发布机构：
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
全文语种：中文简体
全文页数：
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提出单位：
起 草 人：
起草单位：
归口单位：
附录
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